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產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC330熱式氣體質(zhì)量流量控制器
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MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運(yùn)放電路等部件組成。
流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來測(cè)量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓?chǎng)的變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過電路放大、濾波處理，處理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片，再通過氣體流量外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。
氣體實(shí)際流量值與流量設(shè)定值進(jìn)行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制.
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