江蘇微小氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)家采用氣體流過(guò)外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量氣體質(zhì)量流量，通過(guò)電橋?qū)囟葓?chǎng)的變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過(guò)電路放大、濾波處理，處理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片，再通過(guò)氣體流量外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。氣體實(shí)際流量值與流量設(shè)定值進(jìn)行比較, 將差值通過(guò)智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò) 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制。

產(chǎn)品型號(hào)：MFC330

更新時(shí)間：2026-02-06

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

訪(fǎng)問(wèn)量：577

產(chǎn)品咨詢(xún) 18168878188

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計(jì)

氣密性測(cè)漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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　　微小型氣體流量控制器采用氣體流過(guò)外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量氣體質(zhì)量流量，通過(guò)電橋?qū)囟葓?chǎng)的變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過(guò)電路放大、濾波處理理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片，再通過(guò)氣體流量外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。氣體實(shí)際流量值與流量設(shè)定值進(jìn)行比較, 將差值通過(guò)智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò) 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制

　　我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡(jiǎn)稱(chēng) MFC330)，

　　主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡(jiǎn)潔直觀的操作界面，使氣體流量控制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡(jiǎn)便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值外，進(jìn)一步對(duì)氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊；具有多氣體測(cè)量，高精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。

　　MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

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